KrF工艺前谈涂胶显影缔造Ultra Lith KrF 系统专揽独到平台想象终了高产能与先进工艺收敛，专为老练节点光刻应用而打造。

盛好意思半导体缔造(上海)股份有限公司(以下简称“盛好意思上海”)(科创板股票代码:688082)，动作一家为半导体前谈和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺惩处有规划的超卓供应商，至当天文书推出首款KrF工艺前谈涂胶显影缔造Ultra Lith KrF，旨在救援半导体前端制造。该系统的问世符号着盛好意思上海光刻产物系列的迫切执行，具有高产能、先进温控时间以及及时工艺收敛和监测功能。首台缔造系统已于2025年9月委派中国头部逻辑晶圆厂客户。

盛好意思上海总司理王坚默示：KrF工艺前谈涂胶显影缔造Ultra Lith KrF的推出拓展了盛好意思上海在前端工艺缔造限制的影响力，体现了咱们顶住更鄙俚的光刻时间挑战，KrF光刻时间也曾老练工艺器件分娩的中枢工艺，咱们确信此类缔造在内行半导体产出中占比弘远且执续增长。通过同期提供ArF和KrF工艺涂胶显影系统，咱们正在更鄙俚的应用限制中，终流露顺畅的晶圆厂集见效力，晋升制造无邪性。

盛好意思上海的Ultra Lith KrF工艺前谈涂胶显影缔造基于其ArF工艺前谈涂胶显影缔造平台老练的架构和工艺效果打造，该平台已于2024年底在中国一家头部客户端完成工艺考证。这次推出的KrF系统可均匀涂布次埃级涂层，具备先进温控时间以及与ASML光刻机匹配的要害尺寸（CD）精度，为KrF型号的想象优化奠定坚实基础。

产物主要特色

盛好意思上海推出的KrF工艺涂胶显影Track缔造Ultra Lith KrF汲取无邪工艺模块成立，配备12个旋涂腔和12个显影腔（12C12D），并搭载54块可精准控温的热板，救援低温、中温及高温工艺处理，具备优异的热均匀性。该缔造产能跨越300片晶圆/小时（WPH），并集成盛好意思上海专利央求中的后面颗粒去除模块（BPRV），有用裁汰交叉欺凌风险。

此外开yun体育网，集成的晶圆级相等检测（WSOI）模块可终了及时工艺偏差检测和良率相等监测，从而提高工艺庄重性和分娩效力。